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坩埚装料一体机

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劲旅环境
产品介绍
坩埚装料一体机包含坩埚装料模组、坩埚搬运模组、开盖模组、双层接驳位、坩埚线边库等部分,可实现最多四种硅料不同重量的装埚作业,最大可兼容40寸坩埚,降低人工作业的强度,改善装料环境。
产品特点
坩埚线边库可实现提前备料,采用垛机自动出入库;
双层对接线体采用双工位设计,一用一备,节省换料时间;
采用机器人抓取料箱自动开盖装料,改善人工作业环境;
可自动拆除坩埚外包装,并自动将坩埚搬运至装料平台上;
可实现石英坩埚自动装料,并与AGV系统对接,实现自动拉车送车;
可与MES系统互联,实现装料数据上传,数据可追溯到料箱编号和坩埚编号。
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