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成品晶圆立体库
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产品介绍
该设备是为半导体工厂设计制作的晶圆立体库，用于成品晶圆盒的立体仓储，取代了人工作业模式，实现智能出入库、自动仓储等功能，可根据现场情况实现与前后工序的自动化衔接，数字化、信息化管控。
产品特点
立体库以晶圆cassette为单位进行仓储，采用箱式库规划，可兼容多尺寸、多规格cassette的混合仓储； 相比半导体传统stoker，该系统可充分利用厂房高度，增加仓储量，优化厂房利用率，实现降本增效； 根据产品特点开发轻型高速堆垛机，相比stoker与传统堆垛机，更适于半导体工厂的生产特点； 通过与EAP、MES系统互联，实现数据自动采集和管控。
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