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全流程自动化晶体检验系统
全流程自动化晶体检验系统
产品介绍
该系统应用于半导体长晶生产中的晶体检验工序，实现截断/滚磨工序自动上下料、晶体自动检验、缓存仓储、码垛包装等全流程自动化。
自动转运部分包含：晶体运载桁架系统、截断机与滚磨机自动上下料设备、循环分拣输送线、回温缓存库、成品晶体库。
晶体检验部分包含：外观检测站、称重检测站、几何参数检测站、电阻率P/N型检测站、少子寿命检测站、激光打刻工作站。
该系统可兼容4至12英寸毛棒/滚磨棒共线检验，且可根据用户需求，灵活定制检验方案，实现高柔性自动化生产，全面提升检验效率。
产品特点
●可自动对接截断、滚磨设备实现自动上下料
●取代传统人工检测模式，首次实现晶体检验工序自动化
●检验项目及工作站数量可定制，工作站定期自动测试校准
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产品介绍
该系统应用于半导体长晶生产中的晶体检验工序，实现截断/滚磨工序自动上下料、晶体自动检验、缓存仓储、码垛包装等全流程自动化。
自动转运部分包含：晶体运载桁架系统、截断机与滚磨机自动上下料设备、循环分拣输送线、回温缓存库、成品晶体库。
晶体检验部分包含：外观检测站、称重检测站、几何参数检测站、电阻率P/N型检测站、少子寿命检测站、激光打刻工作站。
该系统可兼容4至12英寸毛棒/滚磨棒共线检验，且可根据用户需求，灵活定制检验方案，实现高柔性自动化生产，全面提升检验效率。
产品特点
●可自动对接截断、滚磨设备实现自动上下料
●取代传统人工检测模式，首次实现晶体检验工序自动化
●检验项目及工作站数量可定制，工作站定期自动测试校准
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