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四探针电阻率分选设备
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产品介绍
该设备是半导体抛光片生产线中切磨片的四探针电阻率检测分选设备，可实现多规格晶片电阻率、厚度、P/N型的自动检测与分选作业。
电阻率检测可由用户自定义点位及次数，且各检测模块均可独立运行，满足生产过程中复杂多样的分选需求。此外，设备可对接EAP等系统，实现数据的自动同步。
产品特点
●兼容多种晶片规格，用户可根据不同产品自定义电阻率检测的点位与次数
●上下料单元及各检测模块的数量，可根据实际需求进行定制
●上下料方式可选整摞晶片式或片篮式
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