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边抛后清洗机


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边抛后清洗机

产品介绍

该设备是半导体晶片边缘抛光后清洗设备,采用无篮清洗的方式,实现晶片边缘抛光后的酸洗、碱洗、热水慢提拉与 IR(红外)干燥,有效去除研磨颗粒,清除抛光液残留,防止颗粒再吸附。

 

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该设备是半导体晶片边缘抛光后清洗设备,采用无篮清洗的方式,实现晶片边缘抛光后的酸洗、碱洗、热水慢提拉与 IR(红外)干燥,有效去除研磨颗粒,清除抛光液残留,防止颗粒再吸附。

 

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