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该设备是半导体游星轮清洗设备,可实现游星轮的自动清洗。
该设备是半导体外延EPI零部件清洗设备,可实现EPI零部件酸洗、水洗、自动配液、自动补液,兼容多种石英件、金属件。
该设备是半导体周转片盒清洗设备,可实现片盒的自动刷洗、清洗、吹干。
该设备是半导体石英管清洗设备,可实现石英管的自动搬运、酸洗、水洗、吹干、自动配液、自动补液,并可满足多种规格石英管、石英舟、SiC炉管的清洗需求。
该设备是半导体晶棒生产线中样片的四探针电阻率检测及管理系统,可实现多规格样片的电阻率、厚度、P/N型的自动检测与分类管理,样片管理可控。
天津市科技领军企业
天津市企业技术中心
该设备可实现产品批量上下料、回流焊自动对接、产品输送收集等功能。采用弹夹供料设计,实现产品批量供给与回收,减员增效,避免因人为造成的产品污染。
天津市专精特新中小企业
天津市战略性新兴产业领军企业
该设备可实现硅片自动脱胶、插片、上料、清洗、下料等功能。
该设备应用于光伏电池片工厂原料硅片投料工序,可实现硅片的自动抓取、去包装膜、去无尘纸、叠片、入盒等功能。