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游星轮清洗机
该设备是半导体游星轮清洗设备，可实现游星轮的自动清洗。
EPI零部件清洗机
该设备是半导体外延EPI零部件清洗设备，可实现EPI零部件酸洗、水洗、自动配液、自动补液，兼容多种石英件、金属件。
周转片盒清洗机
该设备是半导体周转片盒清洗设备，可实现片盒的自动刷洗、清洗、吹干。
石英管清洗机
该设备是半导体石英管清洗设备，可实现石英管的自动搬运、酸洗、水洗、吹干、自动配液、自动补液，并可满足多种规格石英管、石英舟、SiC炉管的清洗需求。
样片电阻率检测系统
该设备是半导体晶棒生产线中样片的四探针电阻率检测及管理系统，可实现多规格样片的电阻率、厚度、P/N型的自动检测与分类管理，样片管理可控。
回流焊自动上下料设备
该设备可实现产品批量上下料、回流焊自动对接、产品输送收集等功能。采用弹夹供料设计，实现产品批量供给与回收，减员增效，避免因人为造成的产品污染。
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