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半导体检验设备
成品晶圆立体库
该设备是为半导体工厂设计制作的晶圆立体库,用于成品晶圆盒的立体仓储,取代了人工作业模式,实现智能出入库、自动仓储等功能,可根据现场情况实现与前后工序的自动化衔接,数字化、信息化管控。
Conveyor
该设备分为标准型与洁净型两种规格,可分别应用与半导体灰区与洁净区生产车间,结合robot、lifter等设备,于地面或空中实现物料自动搬运。
Stocker
该设备为洁净型高密度仓储设备,常用于半导体无尘车间中FOUP等物料的临时仓储,可灵活对接多种自动化设备,如OHT、AMR、conveyor、robot等,实现线边快速仓储。
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